原子级制造院士专家城市行（北京站）快讯丨十大典型应用场景集中发布
11月4日上午，在原子级制造院士专家城市行（北京站）创新发展研讨会上，面向全市遴选的十个原子级制造典型应用场景集中发布。十大场景覆盖集成电路、量子科技、高端传感等前沿领域，贯通材料制备、工艺装备、精密加工、计量检测各环节。
区域十大典型应用场景集成电路原子级工艺与装备
北方华创科技集团股份有限公司发布，构建国内集成电路工艺设备产品门类较多、规模较大、技术领先的产业平台，主要产品涵盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、匀胶显影等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示、衬底材料等制造领域。北方华创的装备能力正持续向原子层尺度的精准调控与缺陷控制延伸，为原子级制造提供关键的工艺装备支撑。
半球谐振陀螺高效率原子级修调技术
北京高端精密加工共享服务平台发布，位于怀柔科学城的北京高端精密加工共享服务平台以半球谐振子加工为典型应用场景，依托原子层抛光与离子束/团簇束原子级去除，对薄壁球壳全域实施原子层量级无损去除，将全频段粗糙度逼近零缺陷；再以ALD在复杂曲面上保形生长低应力电极膜，结合原子尺度在线测量与频差闭环修调，支撑Q值与对称度的原子级可控，服务导航级半球陀螺工程化与自主化。
高端MEMS器件原子级制造
中国机械科学研究总院集团发布，依托国家MEMS创新中心与高端MEMS器件可靠性技术北京市重点实验室，构建MEMS器件原子表征能力，面向高端惯性、六维力开展敏感膜原子级形貌成像、微区电特性刻画，支撑“原子级计量-失效机理-标准验证”闭环。
应用于原子级制造超高真空装备
有研工程技术研究院有限公司发布，自主研发的吸气剂泵及复合泵已实现国产化替代并批量应用，面向原子级制造装备对更高真空环境的严苛需求，正自主开发极限真空性能更好的吸气剂泵/复合泵产品，推动原子级制造极高真空装备国产化。
原子级制造筑基量子计量
中国计量科学研究院发布，锶原子光晶格钟通过国际时间频率咨询委员会专家组评审，实现我国光钟参与驾驭国际标准时间“零的突破”；建立全域光频计量装置。
原子级精度化合物材料外延生长
中国电子科技集团公司第十一研究所发布，分子束外延生长是量子级联激光器的核心工艺之一，高性能器件有源区涉及上千层材料，能带调控已进入原子层级，对外延材料的稳定性与良率提出了更高要求。需攻克大尺寸三五族体系原子级材料设计、外延生长设备及工艺等关键技术，重点突破高精度外延束流在线监测与实时调控、大面积束流均匀性控制、多材料体系一体化异质外延集成等难题，在提升材料质量的同时降低制备成本，满足高精度、批量化器件研制需求，推动量子级联激光器在红外光电对抗、光谱检测、空间激光通信等领域的产业化应用。
碳化硅衬底原子级超光滑表面产品制备
北京天科合达半导体股份有限公司发布，依托设备、工艺与耗材协同，实现8英寸碳化硅衬底表面原子级超光滑加工，兼具高效率、高平整度与低损伤，支撑高端外延及功率器件规模化制造。在埃级表面粗糙度精度下实现原子层无损终加工，从源头解决亚表面损伤、外延寄生沟道与界面态，为高端同质外延规模化制造铺就近零缺陷原子级衬底。
面向量子芯片的原子级全链条制造
中国科学院物理研究所发布，依托超高真空原子级精度ALD、MBE、PLD、RIE全流程工艺，覆盖“表/界面-结-封装”全链条，通过MBE构筑原子级平坦超导/半导体异质结、ALD逐循环调控AlN隧穿势垒、PLD构筑原子级约瑟夫森超导结，支撑量子芯片寿命与良率可算、可造、可复制。
原子级硅光冷加工与修调
北京聚睿众邦科技有限公司（米格实验室）发布，超精密飞秒激光近阈值“冷去除”制形，再以离子束/弹性发射抛光作无损终加工，把表面粗糙度压向原子层量级、逼近零缺陷，抑制散射与吸收损耗。
二维器件与化学原子级制造
北京石墨烯技术研究院发布，基于石墨烯原子制造技术，形成“北京研发-天津量产-京津冀应用”协同链条，以单原子层石墨烯为导电沟道、把分子结合转化为电信号，实现pm级检测，助力肿瘤、感染极早期诊断。
原子级制造院士专家城市行（北京站）快讯丨十大典型应用场景集中发布
11月4日上午，在原子级制造院士专家城市行（北京站）创新发展研讨会上，面向全市遴选的十个原子级制造典型应用场景集中发布。十大场景覆盖集成电路、量子科技、高端传感等前沿领域，贯通材料制备、工艺装备、精密加工、计量检测各环节。
区域十大典型应用场景集成电路原子级工艺与装备
北方华创科技集团股份有限公司发布，构建国内集成电路工艺设备产品门类较多、规模较大、技术领先的产业平台，主要产品涵盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、匀胶显影等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示、衬底材料等制造领域。北方华创的装备能力正持续向原子层尺度的精准调控与缺陷控制延伸，为原子级制造提供关键的工艺装备支撑。
半球谐振陀螺高效率原子级修调技术
北京高端精密加工共享服务平台发布，位于怀柔科学城的北京高端精密加工共享服务平台以半球谐振子加工为典型应用场景，依托原子层抛光与离子束/团簇束原子级去除，对薄壁球壳全域实施原子层量级无损去除，将全频段粗糙度逼近零缺陷；再以ALD在复杂曲面上保形生长低应力电极膜，结合原子尺度在线测量与频差闭环修调，支撑Q值与对称度的原子级可控，服务导航级半球陀螺工程化与自主化。
高端MEMS器件原子级制造
中国机械科学研究总院集团发布，依托国家MEMS创新中心与高端MEMS器件可靠性技术北京市重点实验室，构建MEMS器件原子表征能力，面向高端惯性、六维力开展敏感膜原子级形貌成像、微区电特性刻画，支撑“原子级计量-失效机理-标准验证”闭环。
应用于原子级制造超高真空装备
有研工程技术研究院有限公司发布，自主研发的吸气剂泵及复合泵已实现国产化替代并批量应用，面向原子级制造装备对更高真空环境的严苛需求，正自主开发极限真空性能更好的吸气剂泵/复合泵产品，推动原子级制造极高真空装备国产化。
原子级制造筑基量子计量
中国计量科学研究院发布，锶原子光晶格钟通过国际时间频率咨询委员会专家组评审，实现我国光钟参与驾驭国际标准时间“零的突破”；建立全域光频计量装置。
原子级精度化合物材料外延生长
中国电子科技集团公司第十一研究所发布，分子束外延生长是量子级联激光器的核心工艺之一，高性能器件有源区涉及上千层材料，能带调控已进入原子层级，对外延材料的稳定性与良率提出了更高要求。需攻克大尺寸三五族体系原子级材料设计、外延生长设备及工艺等关键技术，重点突破高精度外延束流在线监测与实时调控、大面积束流均匀性控制、多材料体系一体化异质外延集成等难题，在提升材料质量的同时降低制备成本，满足高精度、批量化器件研制需求，推动量子级联激光器在红外光电对抗、光谱检测、空间激光通信等领域的产业化应用。
碳化硅衬底原子级超光滑表面产品制备
北京天科合达半导体股份有限公司发布，依托设备、工艺与耗材协同，实现8英寸碳化硅衬底表面原子级超光滑加工，兼具高效率、高平整度与低损伤，支撑高端外延及功率器件规模化制造。在埃级表面粗糙度精度下实现原子层无损终加工，从源头解决亚表面损伤、外延寄生沟道与界面态，为高端同质外延规模化制造铺就近零缺陷原子级衬底。
面向量子芯片的原子级全链条制造
中国科学院物理研究所发布，依托超高真空原子级精度ALD、MBE、PLD、RIE全流程工艺，覆盖“表/界面-结-封装”全链条，通过MBE构筑原子级平坦超导/半导体异质结、ALD逐循环调控AlN隧穿势垒、PLD构筑原子级约瑟夫森超导结，支撑量子芯片寿命与良率可算、可造、可复制。
原子级硅光冷加工与修调
北京聚睿众邦科技有限公司（米格实验室）发布，超精密飞秒激光近阈值“冷去除”制形，再以离子束/弹性发射抛光作无损终加工，把表面粗糙度压向原子层量级、逼近零缺陷，抑制散射与吸收损耗。
二维器件与化学原子级制造
北京石墨烯技术研究院发布，基于石墨烯原子制造技术，形成“北京研发-天津量产-京津冀应用”协同链条，以单原子层石墨烯为导电沟道、把分子结合转化为电信号，实现pm级检测，助力肿瘤、感染极早期诊断。
